作為全球光柵制造領域的重要技術(shù),英國光柵刻蝕憑借超高精度的微觀加工能力,成為制備高性能光柵元件的核心工藝。它通過物理或化學方法在基底材料表面刻蝕出周期性微觀結(jié)構(gòu),賦予光學元件分光、濾波、調(diào)諧等關(guān)鍵功能,在光譜分析、激光技術(shù)、天文觀測等光學領域發(fā)揮著重要的作用。
超高刻蝕精度是英國光柵刻蝕的核心優(yōu)勢。其采用的全息干涉光刻與離子束刻蝕相結(jié)合的技術(shù),可實現(xiàn)納米級的線寬控制與周期性調(diào)節(jié),刻蝕線條的均勻性誤差能控制在1%以內(nèi)。例如在光譜儀的衍射光柵制造中,光柵刻蝕技術(shù)可在硅或玻璃基底上刻蝕出數(shù)千條每毫米的平行刻線,確保光譜分析的分辨率達到0.001nm,為物質(zhì)成分檢測提供精準數(shù)據(jù)支撐。在激光雷達系統(tǒng)中,通過該技術(shù)制備的光柵可實現(xiàn)激光波長的精準調(diào)諧,提升雷達的測距精度與抗干擾力。

多樣化的刻蝕工藝使其適配不同應用需求。針對不同基底材料與結(jié)構(gòu)要求,英國光柵刻蝕發(fā)展出電子束刻蝕、反應離子刻蝕等多種工藝。在半導體行業(yè),它可用于制備光柵耦合器等光電子器件,實現(xiàn)光信號的高效傳輸;在天文望遠鏡的光譜儀中,大尺寸平面光柵通過英國刻蝕技術(shù)制備,能捕捉遙遠天體的微弱光譜信號,助力天體物理研究。此外,在AR/VR設備的光波導鏡片制造中,微納光柵的刻蝕精度直接影響成像效果,英國技術(shù)憑借穩(wěn)定的工藝控制成為行業(yè)理想選擇。
如今,英國光柵刻蝕技術(shù)持續(xù)向大尺寸、高分辨率方向突破,不僅推動了光學元件的性能升級,更成為光學裝備研發(fā)的核心支撐,為全球光學科技的進步提供了關(guān)鍵工藝保障。